十年磨一“芯” 把实验室技术干成量产真功夫

安徽北方微电子研究院集团有限公司惯性研发组组长、中国兵器工业集团青年科技带头人。
2013年,喻磊进入安徽北方微电子研究院集团有限公司工作,作为深耕MEMS惯性工艺一线10余年的科技工作者,他直面“卡脖子”难题,带队攻克深硅刻蚀陡直度与晶圆封装高真空度等核心工艺,达到国内领先水平;主导解决量产良率“杀手”,将产品良率从30%提升至80%以上,打通“研发到量产”最后一公里。
他坚持“问题不过夜”,以工匠精神带出骨干团队,在微米尺度上精雕细琢,突破了多项关键工艺瓶颈。2019年《集成3D曲面立体电极的硅MEMS半球陀螺仪制备技术》获安徽省科学技术奖三等奖;2025年《高性能惯性MEMS器件晶圆制造技术》获安徽省科学技术进步奖二等奖,真正实现了把核心技术成果用在产业升级第一线。